在半导体、显示面板与光学镀膜等高端制造领域，薄膜应力是影响器件性能与可靠性的核心难题。从纳米级裂纹到宏观翘曲，应力失控直接导致良率下降与成本攀升。应对这一挑战，精准、全场的应力测量是破局第一步。在此背景下，佛山翁开尔作为泽攸科技在中国的战略合作伙伴，共同将先进的泽攸大尺寸台阶仪引入产业一线，为中国智造提供从精准洞察到工艺优化的完整解决方案。
薄膜技术
一、薄膜应力：微观世界里的宏观挑战
薄膜在沉积与服役过程中产生的生长应力、热应力与界面应力，共同作用导致基底翘曲、膜层开裂或剥离。尤其在大尺寸基板（如12英寸硅片、G8.5以上显示面板）成为主流的今天，传统的局部、抽样式测量已无法满足对全局应力分布与全场形貌的管控需求，工艺调试往往陷入“只见树木，不见森林”的困境。
二、泽攸台阶仪：全场洞察，让应力无所遁形
泽攸科技推出的JS系列大尺寸台阶仪（如JS500C），正是为解决大尺寸样品测量难题而生。它不仅是测量工具，更是工程研发与质量控制的“高精度视觉系统”。
展开剩余67%台阶仪
核心价值体现：
全局形貌测绘：凭借超长扫描行程（可达米级）与亚纳米级垂直分辨率，一次性获取整个晶圆、玻璃基板或光学元件表面的三维轮廓，直观揭示因应力不均导致的翘曲、凹陷或褶皱。
应力分布可视化：基于高精度轮廓数据，结合经典力学公式，可计算并绘制出薄膜应力的全场分布图，精准定位应力集中区，为工艺调整提供明确、量化的依据。
贯穿工艺全流程：从沉积后应力评估、退火工艺优化，到CMP后平整度检测，提供全程数据监控，实现应力管理的闭环控制。
技术优势领先：
大尺寸与高精度兼得：真正实现从毫米到米级样品的全场纳米级测量。
数据驱动决策：将应力分析从经验判断提升至量化、可视化的科学层面。
高效自动化：大幅提升在线检测与离线分析的效率，适应现代化产线节奏。
三、佛山翁开尔：本土化战略支持，让技术深度落地
佛山翁开尔作为泽攸科技长期信赖的战略合作伙伴，在这一技术落地过程中扮演着不可或缺的角色。其价值远不止于设备供应：
专业的技术服务与咨询：凭借对国内产业工艺的深刻理解，为客户提供量身定制的测量解决方案与应用支持。
快速响应的本地化网络：确保客户在设备使用、维护与升级过程中获得及时、高效的本地服务，最大限度保障产线稳定运行。
连接技术与产业的桥梁：将泽攸科技的尖端测量仪器与国内半导体、显示、新能源等产业的实际需求紧密结合，推动测量数据真正转化为工艺改进与良率提升的动力。
四、携手赋能：共同守护中国智造的纳米级精度
通过佛山翁开尔与泽攸科技的紧密协作，泽攸台阶仪已应用于国内领先的芯片制造、新型显示及精密光学企业。合作案例表明，这一组合不仅帮助客户精准诊断了由应力引起的翘曲失效问题，更通过提供全场数据，支撑了沉积参数优化、退火工艺改进及多层膜系设计，最终实现了关键器件良率与可靠性的显著提升。
结语
在高端制造迈向更精微、更集成的道路上，薄膜应力的精准管控是必须跨越的关卡。泽攸科技提供国际领先的测量“利器”，而佛山翁开尔则确保这把利器在国内战场上得心应手。双方的深度战略合作，正将全球前沿的测量技术转化为中国制造业可靠性的坚实基石，共同守护从芯片到屏幕的“纳米级精度”未来。
发布于：广东省
